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观察窗 抽真空管道 组成\炉筒:包括取光孔\下炉筒:包括抽真空管道\底座机架:全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管。翻板阀提拉头:主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室:主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖:副室连接法兰若干胶管 水管卡套等\氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
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零电流关PWM转换器(ZCS PWM Converter),零电压转换(Zero-Vo1tage-Transition,ZVT)PWM转换器和零电流转换(Zero- Vo1tage-Transition,ZVT)PWM转换器等,均属于软关直流转换器。电力电子关器件和零关转换器技术的发展,促使了高频关电源的发展。操作者观察窗口允许单晶直径测量范围大10”,氩气入口设置在炉盖的喉部。4、隔离阀座隔离阀座为双层水冷却结构,前圆后方,正前方设有一道圆门,可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀了及活动空间,隔离阀的作用是为籽晶或单晶进入副炉室的通道,同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构,阀板和阀体均是固定式双层结构,通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口(激光),后部有一个氩气入口,可以实现快充氩气。5、副炉室副炉室为圆筒形腔体,双层结构,水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰,可以打用于腔体上部,法兰设有圆形观察窗。